单光宝
,
刘佑宝
,
魏海龙
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.008
根据物体相对运动理论,采用能量法表述了建立硅微加速度计功能组件模型的一般方法,并以Verlog-A为模型编码语言实现了硅微加速度计参数化组件模型.利用这些参数化的功能组件模型,在Saber仿真平台上构建了电容式微加速度计系统级模型,并进行了仿真.频域仿真结果表明系统的谐振频率相对于有限元模态分析结果,计算精度相差在3%以内;时域仿真结果表明使用该系统级模型能够快速进行复杂机电耦合系统时域行为分析,输出电压仿真结果与实测值相差在7.5%以内.
关键词:
MEMS
,
建模
,
系统仿真
,
加速度计
张霞
功能材料与器件学报
随着微机械加工技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大,各种类型的微机械加速度计层出不穷,其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高,其次是压阻式、压电式、热对流式、隧道电流式、谐振式,以及近年来成为研究热点的光学式加速度计.本文详细阐述了国内外已报道的各种类型微机械加速度计的结构、原理、制造工艺和性能指标,并对不同精度微机械加速度计的产业化发展现状和市场应用情况进行了总结.新材料、新机理、纳米尺度、智能化以及更高的性能指标将是今后几年微机械加速度计的主要发展趋势,也将在MEMS/NEMS领域掀起新一轮的研究热潮.
关键词:
MEMS
,
微机械
,
加速度计
,
噪声
,
分辨率
,
灵敏度
马英舜
,
许丽萍
,
温廷敦
,
毛宏庆
,
闫红梅
材料导报
对于异质双周期结构的光子晶体而言,不需要掺杂即可形成多条透射谱.理论结果显示,在实际应用范围内,透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系.据此,设计了一种单悬臂梁结构的多量程、超灵敏的宽频带加速度计.在单悬臂梁根部所受应力最大处,用异质双周期光子晶体替代以往的压敏电阻,只需检测出透射光强与入射光强的比值,即可测出加速度.ANSYS软件仿真结果表明,当透射光强改变万分之一时,该加速度计可以感知0.01gn的加速度变化,测量量程可达l00gn.从模态分析图中可以看到该加速度计可以稳定地工作,可用在自控、车辆、测试等领域.
关键词:
异质双周期光子晶体
,
加速度计
,
多量程
,
超灵敏
,
宽频带
李浩
,
陆德仁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.010
对分度头检测加速度计静态特性相关的几何物理问题进行了分析,结果表明,传感器在分度头上的安装偏差角和传感器自身固有的横向效应都会影响检测精度.用分度头对加速度计进行静态特性的检测,横向效应包含在测量结果的非线性中.用非线性和横向效应都很小的加速度传感器作为试样,在分度头上人为安装有00、50和150的偏角时,检测到的非线性随偏角的增加而变大,与理论分析一致.利用高分辨分度头寻找能降低悬臂梁压阻式加速度传感器横向效应的基准面,以此基准面封装成的传感器的横向效应和非线性的综合效果小于0.05%.
关键词:
加速度计
,
横向效应
,
非线性
,
静态测量
