鞠生宏
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徐向华
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梁新刚
工程热物理学报
随着光电技术的发展,各种光学半透明薄膜在实际中得到了广泛应用.光学薄膜的使用必须建立在光学特性(如透射率、反射率和吸收率)已知的基础之上.一般而言,对于半透薄膜透射率的测量比较简单,而对于反射率和吸收率的测量往往比较复杂.本文在总结前人研究薄膜光学特性测量经验的基础之上,通过分析光路在多层薄膜间的传递过程,设计了一种利用辐射计有效测量半透薄膜光学特性的方法,测量简便、快速,可直接得到测量波段内薄膜的半球光学特性参数.在待测薄膜光学特性比较极端(透射率、反射率和吸收率其中之一很大或者很小)时,该方法仍然能够进行测量,并且透射率和反射率测量可重复性好,相对偏差一般不超过6%.
关键词:
辐射计
,
半透薄膜
,
光学特性
