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单晶锗薄膜热导率的分子动力学模拟

张兴丽 , 孙兆伟 , 孔宪仁 , 吴国强

稀有金属材料与工程

采用非平衡分子动力学(NEMD)方法研究平均温度为400 K,厚度d=2.8288~11.315 nm的单晶锗薄膜法向的热导率.模拟结果表明,单晶锗薄膜热导率随薄膜厚度的增加以接近线性的规律增加,其数值明显低于同等温度下体态锗的试验值.当薄膜厚度一定时,单晶锗薄膜的热导率随温度增加变化幅度很小,与同体态锗热导率随温度的变化规律相比表现出明显的尺寸效应.

关键词: 热导率 , 分子动力学 , 单晶锗薄膜 , 尺寸效应

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