张惠
,
许立坤
,
侯文涛
,
辛永磊
,
王均涛
材料保护
常规的光学显微镜和扫描电镜(SEM)检测为破坏性检测,且测量时间长,不便于现场应用于涂层厚度的测量.为此,制备了X射线荧光法(XRF)测量Ti/IrO_2-Ta_2O_5涂层厚度所需的校正标样,采用XRF测量了涂层的厚度,并与SEM测量的涂层厚度进行比较.结果表明:标样的涂层厚度和组分分布均匀;XRF测试中发射法比吸收法的灵敏度高,偏差小;XRF的测量结果与SEM的相近,偏差小,可靠度高.
关键词:
X射线荧光
,
IrO_2
,
Ta_2O_5
,
氧化物阳极
,
厚度测量
陈秀明
,
林莉
,
李喜孟
,
郭广平
航空材料学报
doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2009.01.018
针对超声干涉法测量薄层厚度的原理,讨论了薄层及与其相邻介质声阻抗匹配分别满足界面声压反射系数|R1|＜1/2或|R1|＞1/2时回波信号的选取原则,并以薄层声压反射系数谱为依据,分析了上述两种声阻抗匹配条件下谱线分别出现次生极大或极小值的规律,在此基础上提出了薄层厚度测量时谱线极值的选择方法.以航空雷达罩蒙皮GFRP(Glass Fiber Reinforced Plastic)层板外表面复合涂层以及钢基体表面ZrO2陶瓷涂层样品为例进行了薄层厚度测量实验研究及信号分析.研究表明,超声干涉法薄层厚度实验结果与SEM(Scanning Electron Microscope)测量结果相符.由此可知,薄层及与其相邻介质声阻抗匹配判据对于超声干涉法薄层厚度测量具有很强的理论指导意义及工程应用价值.
关键词:
超声干涉法
,
声阻抗匹配
,
薄层
,
厚度测量
,
声压反射系数谱
钱江波
,
韩中合
,
严晓哲
工程热物理学报
汽轮机动静叶片处的水膜、风机桨叶上的冰层等介质厚度的在线准确监测,对电力工业的安全生产具有重要的指导意义.采用微波开式同轴谐振腔作为介质厚度测量传感器,建立了介质厚度测量数学模型,根据谐振腔等效电路,推导了介质厚度的测量关系式.分别设计了用于水膜、冰层厚度测量的传感器.结果表明,随着介质厚度增加,谐振腔的谐振频率减小,衰减增大,且随着谐振腔的基准谐振频率变大,谐振腔的厚度测量分辨力提高.水膜、冰层厚度测量传感器的测量范围分别为0～1 mm、0～10 mm,测量精度较高,结构简单,易于布置,可实现在线监测.微波同轴腔在线测量介质厚度是可行的.
关键词:
微波测量
,
谐振腔
,
厚度测量
,
液膜
,
冰层
刘建国
,
刘颖
,
张鑫生
,
鲁俊龙
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2013.03.008
ZD-B智能电解测厚仪和计算机测控系统,检测三元合金镀层,有助于对电镀产品质量分析,提高产品质量.该系统与轮廓仪相比较其测量镀层厚度误差小、精度高,而且使用简便,稳定可靠,充分发挥了库仑测厚仪技术的优势,最大限度的获取镀层全面信息.为三元合金电镀层的厚度测量提供了新方法.
关键词:
铜-锡-锌合金
,
厚度测量
,
库仑测厚仪
,
轮廓仪
栗大超
,
徐临燕
,
傅星
,
胡小唐
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.036
本文阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚度测量的两个典型应用进行了介绍.对硅纳米梁进行了厚度测量,并进行了重复性实验,梁的平均测量度为160.36nm.
关键词:
纳机电系统
,
纳米梁
,
厚度测量
,
AFM
,
弯曲测试
