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半导体玻璃微通道板制造工艺研究

王中俭 , 胡一晨 , 姜建华 , 陆剑英

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2008.04.021

体电导半导体玻璃微通道板具有优异的性能,为了突破其制造工艺的技术难关,研究和分析了过程技术参数以及缺陷成因.以磷酸盐系统半导体玻璃和酸溶玻璃作为微通道板单纤维的皮料和芯料,在电炉中熔制得到玻璃纤芯及皮料的母棒,然后根据两种玻璃的性能及工艺参数,采用光纤自动成纤系统研究了适合双坩埚法单丝拉制的工艺.重点讨论了拉丝温度和速度、玻璃液位、气氛等关键因素对成纤过程和微通道板质量的影响.通过单丝和复丝的拉制,排丝、压屏、切割和酸溶等过程,最终获得了直径为20mm,孔径为6~μm,像素大于400万的体电导玻璃微通道板的雏形.

关键词: 微通道板 , 体电导 , 半导体玻璃 , 双坩埚 , 制造工艺

双坩埚LEC法砷化镓熔体流动与传热传质数值模拟

王正乾 , 李明伟 , 徐赟瑜 , 王晓丁

材料科学与工程学报

采用低雷诺数/κ-ε湍流模型,模拟了双坩埚LEC法砷化镓熔体的流动与传热传质.分析了不同晶体转速、内坩埚转速、外坩埚转速条件下的熔体流动与传热,获得了考虑溶质分凝效应后的Si掺杂在砷化镓熔体中的分布.结果表明:随着晶体转速的增大,生长界面附近等温线更加平直且等温线密度增大;随着内坩埚转速的增大,生长界面附近等温线凸向熔体:外坩埚转速对生长界面等温线形状影响很小;Si在熔体中的质量浓度梯度除生长界面和补充熔体进口处较大外.主要集中在小管内及其附近.

关键词: 液封提拉法 , 质量浓度 , 数值模拟 , 双坩埚

双坩埚三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉设计

巩潇 , 倪屹 , 司继良 , 李留臣

人工晶体学报

在已有的三维温度梯度法(3DGF)蓝宝石晶体生长炉基础上,设计了一种双坩埚蓝宝石晶体生长炉.设计的三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉主要针对蓝宝石手机面板市场,将坩埚设计成长方体型,增加了材料利用率,并简化了晶体切割工艺.采用双坩埚技术,可进一步提高晶体的生产效率,节约能耗,降低成本.本设计的双坩埚3DGF蓝宝石晶体生长炉可单炉获得2个300 mm×100 mm× 100 mm的蓝宝石晶体.

关键词: 蓝宝石 , 晶体生长炉 , 三维立体温度梯度法 , 双坩埚

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