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超低压ITO基壳聚糖电解质纸张薄膜晶体管的制备

刘欣 , 赵娟 , 赵孔胜 , 刘全慧

材料导报

采用一步掩膜法通过射频磁控溅射设备同时制备源极、漏极以及沟道层,采用具有双电荷层效应的壳聚糖薄膜为栅介质,成功制备出以纸张为衬底的超低压薄膜晶体管.这种柔性衬底薄膜晶体管具有良好的电学性能:超低的工作电压(仅为0.8V),场效应迁移率达到8.1 cm2/(V·s),亚阈值斜率为80mV/decade,开关电流比高达1.2×107.

关键词: 纸张薄膜晶体管 , 超低压 , ITO , 壳聚糖 , 双电层效应

TiO2纳米管的“兼并”现象及机理分析

杨硕 , 刘冠鹏 , 刘喜波 , 薛建强 , 张雪凤

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2011.06.009

采用电化学阳极氧化法制备了高度有序Ti02纳米管阵列,并提出纳米管“兼并”的概念.结合FE-SEM分析并验证了Macak等人提出的pH值梯度理论,并在此基础上用双电层理论解释了“兼并”的形成机理,同时解释了初期纳米管管径进一步增大的原因.

关键词: 阳极氧化 , TiO2纳米管 , 纳米管的“兼并” , pH值梯度 , 双电层效应

基于微孔SiO2栅介质的透明氧化物薄膜晶体管

颜钟惠 , 王瑶 , 吴国栋 , 轩瑞杰 , 李想

材料导报

采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质,制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管.利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析仪对样品进行表征.结果表明,微孔SiO2栅介质具有双电层效应,这种微孔SiO2栅介质透明氧化物薄膜晶体管器件具有工作电压低,开关电流比大,透光性高,稳定性强等良好性能.

关键词: 微孔SiO2 , 双电层效应 , 透明氧化物 , 薄膜晶体管

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