姜训勇
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刘庆锁
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徐惠彬
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宋德瑛
功能材料
本实验采用直流磁控溅射法制备了一种非晶的富TiNiTi薄膜,其成分为Ni46.34%(原子分数),Ti 53.66%(原子分数).采用变温方法研究了这种非晶薄膜的晶化动力学.测得非晶薄膜晶化的激活能为271kJ/mol,平均Avrami指数为1.17.采用以上获得的动力学参数计算了薄膜在773K的等温晶化动力学曲线.计算结果与实验结果吻合较好.在薄膜的晶化过程中伴随着Ti2Ni的析出.
关键词:
富Ti NiTi薄膜
,
非晶
,
晶化动力学
,
变温方法
