王小伟
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李晨辉
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柯文明
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胡加佳
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黄帅
材料导报
介绍了制备GZO薄膜的各种方法,如磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法、喷雾热解法;阐述了这些方法的镀膜原理,并比较了各种工艺的优缺点.综述了GZO薄膜在单层膜领域、复合多层膜领域有机物基底上镀膜领域和薄膜后续退火处理领域的研究现状.提出了产业化过程中需要解决的问题:①制备高密度、高溅射稳定性和导电性优良的靶材;②完善现有镀膜工艺条件;③制备符合不同生产要求的薄膜..
关键词:
GZO薄膜
,
透明导电氧化物
,
制备方法
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电阻率
,
可见光透过率
吴云龙
,
成惠峰
,
余刚
,
王永斌
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韩磊
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付静
材料科学与工程学报
透明导电薄膜的厚度制约其光电性质。本研究利用磁控溅射技术制备了厚度变化范围为200-1500nm的ITO薄膜,探索了薄膜颜色、可见光透过率、面电阻与膜厚的关系。薄膜颜色随着膜厚的增加呈现有规律的变化,可见光透过率随薄膜厚度的增加而呈现振荡下降趋势,并出现了极大值（紫红色）,振荡趋势可用多光束干涉解释;薄膜面电阻随膜厚的增加呈减小趋势,薄膜厚度为1387nm时,面电阻为1.3Ω/□,薄膜最小电阻率为1.8×10-4Ω.cm。文章给出了可以通过选择恰当的薄膜厚度,以尽可能满足透明导电薄膜面电阻、透过率两个相互矛盾的指标。
关键词:
ITO
,
可见光透过率
,
面电阻
,
透明导电氧化物
汪冬梅
,
周海波
,
朱晓勇
,
吕珺
,
徐光青
,
吴玉程
,
郑治祥
金属功能材料
用射频磁控溅射技术,在纯氩气氛中不同溅射功率(120W～210W)下于玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(ZAO)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、光谱仪和四探针测试仪等对所制备的薄膜进行了晶体结构、光学和电学性能分析.结果表明,纯氩气氛中不同溅射功率下玻璃衬底上原位沉积的ZAO薄膜具有明显的c轴择优取向性,它没有改变ZnO的六角纤锌矿结构;ZAO薄膜的可见光区平均透光率不强烈依赖于溅射功率,为75%左右;原位沉积ZAO薄膜的电阻率达到102Ω·cm数量级范围,随溅射功率由120 W增大到210 W时,薄膜电阻率从132.67 Ω·cm降低到21.08 Ω·cm.
关键词:
ZAO薄膜
,
RF磁控溅射
,
结构性能
,
可见光透过率
,
电阻率
张华
,
肖秀娣
,
徐刚
,
柴冠麒
,
杨涛
材料导报
系统总结了VO2薄膜常用的制备方法,并针对目前热色智能窗用VO2薄膜存在的问题,如透过率低、调节率不理想等,详细综述了提高VO2薄膜性能的工艺改进途径,包括沉积减反层、加入折射率小的材料、掺杂等,以揭示改善VO2薄膜的最佳途径,为推进VO2智能窗的实用化提供依据.
关键词:
热色智能窗
,
VO2薄膜
,
可见光透过率
,
太阳能调节率
陈卢松
,
黄争鸣
,
薛聪
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00469
利用同轴共纺技术制备出壳(聚甲基丙烯酸甲酯,PMMA)-芯(聚碳酸酯,PC)复合纳米纤维,再通过热压将壳层熔融后得到PC纳米纤维增强PMMA透光复合材料. 分别在复合纳米纤维的壳层或芯层中添加不同含量的纳米二氧化钛(TiO2)粒子,观察纳米颗粒在复合纤维不同结构中的分布,并分析其含量及分布状态对透光复合材料的可见光透过率、紫外光透过率以及力学性能的影响. 研究结果表明,分布在壳层的纳米TiO2可明显提高复合材料的紫外光屏蔽性,拉伸性能得到增强,但是透光率有所下降;分布在芯层的纳米TiO2对复合材料的透光率影响较小,而对拉伸性能的提高较引入壳层的效果更为显著.
关键词:
同轴共纺技术
,
聚甲基丙烯酸甲酯
,
聚碳酸酯
,
二氧化钛
,
可见光透过率
,
紫外线
