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合金溅射轰击诱发的吉布斯偏析现象

郑里平

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2003.01.012

建立了包括质量效应、键合效应和轰击诱发吉布斯偏析效应的蒙特卡罗模拟程序; 并对轰击诱发吉布斯偏析效应的两大特征(表面成分梯度特征和表面成分梯度的中间性特征)进行了研究. 模拟解析了为何在被轰击合金表面形成了一个偏析元素的成分梯度; 为何被轰击合金表面的成分梯度、溅射角分布和溅射产额具有中间性特征.

关键词: 合金溅射 , 轰击诱发吉布斯偏析 , Monte Carlo模拟

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