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6H-SiC单晶中的微管和小角度晶界

韩荣江 , 王继扬 , 胡小波 , 徐现刚 , 董捷 , 李现祥 , 蒋民华

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.002

利用透射偏光显微术、同步辐射X射线形貌术、高分辨X射线衍射方法对6H-SiC(0001)晶片中的微管和小角度晶界等缺陷进行了研究.实验发现,在透射偏光显微镜下,微管通常呈现为蝴蝶形,这是由于微管周围存在着应力场,且应力分布不均匀,当线偏振光在通过微管周围区域时传播速度不同造成的.从X射线背反射同步辐射形貌像得到晶片中微管的Burgers矢量大小在2c到10c之间.从晶片00012衍射的双晶衍射摇摆曲线可以看出,晶片的中间大部分区域质量很好,双晶衍射峰为单峰且半峰宽很窄,一般为35"左右.在外围区域双晶衍射峰的半峰宽变宽,有些区域还会出现衍射峰的分裂,这说明外围区域有嵌镶块结构存在.

关键词: 透射偏光显微术 , 同步辐射X射线形貌术 , 高分辨X射线衍射 , 6H-SiC单晶 , 微管 , 小角度晶界

γ-LiAlO2晶体的生长缺陷研究

杨卫桥 , 干福熹 , 邓佩珍 , 徐军 , 李杼智 , 蒋成勇

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.06.011

γ-LiAlO2晶体是一种非常有前途的GaN衬底材料,本文利用化学腐蚀光学显微术和同步辐射X射线形貌术研究了LiAlO2晶体的缺陷.结果表明,提拉法生长的γ-LiAlO2晶体中的缺陷主要为位错、包裹物和亚晶界.并发现在其(100)晶片上的腐蚀形貌两面有较大差异.

关键词: γ-LiAlO2晶体 , 缺陷 , 位错 , 同步辐射X射线形貌术 , GaN衬底

KTiOAsO4晶体的生长缺陷研究

牟其善 , 刘希玲 , 马长勤 , 王绪宁 , 路庆明

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.04.002

研究KTiOAsO4晶体的生长缺陷, 对于改善它的性能和应用前景, 有很大的意义. 本文利用化学腐蚀光学显微术和同步辐射X射线形貌术研究了KTiOAsO4晶体的缺陷, 实验结果表明, 两种腐蚀剂对于显示KTA晶体的表面缺陷效果显著, KTA晶体中主要的缺陷有铁电畴、生长层、扇形界、位错和包裹物. 讨论了这些缺陷形成的原因.

关键词: KTiOAsO4晶体 , 同步辐射X射线形貌术 , 缺陷 , 铁电畴

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