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HfO2膜料中的杂质对薄膜损伤及性能的影响

吴师岗 , 邵建达 , 易葵 , 赵元安 , 范正修

稀有金属材料与工程

通过对HfO2膜料中杂质元素的分析,找出了影响薄膜性能的主要杂质元素.结果表明:金属元素、吸收性介质元素的存在对薄膜的损毁有很大负面影响;在紫外波段,Zr元素含量大的薄膜吸收较大;并且提出负离子元素在膜料蒸发过程中形成气源中心,产生喷溅,从而使薄膜的损伤阈值降低.

关键词: HfO2膜料 , 杂质 , 金属 , 吸收性介质 , Zr元素 , 负离子元素

吸收性介质内气泡的表观辐射特性研究

马兰新 , 王富强 , 王成安 , 谭建宇

工程热物理学报

气泡的存在对介质的辐射传输特性具有重要影响.本文基于广义MIE理论计算了气泡在吸收性介质内的辐射特性.研究了介质的复折射率虚部对气泡表观辐射特性的影响以及0.2~200 μm可见光及红外波长范围内介质水的吸收特性对气泡粒子系散射系数和吸收系数的影响.结果表明,随着粒子尺度参数的增大,介质吸收对气泡表观辐射特性的影响相应增大,忽略介质吸收将带来很大误差;当波长大于2μm时,介质水的吸收特性对气泡的散射特性影响不能忽略.

关键词: 吸收性介质 , 气泡 , MIE理论 , 表观辐射特性

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