潘礼庆
,
王岭
,
孙加林
,
洪彦若
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.019
研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性,实验表明,刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后,薄膜表面致密、均匀、无裂纹,具备良好的导电性能.YSZ/NASICON组合再加上Ba(NO3)2辅助电极构成的NOX气体传感器在450℃下响应迅速(响应时间约为3min)、稳定,能检测到10ppm量级的NO2气体.
关键词:
YSZ薄膜
,
固体电介质
,
电导率
,
气体传感器
,
溅射镀膜
