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微桥试验法评价薄膜力学性能的研究

周志敏 , 周勇 , 丁文 , 曹莹 , 陈吉安 , 杨春生

功能材料

提出了弹性极限和小挠度极限的概念,对微桥在不同长度、厚度以及可能的弹性模量和残余应力范围内的变形行为进行了表征,提出基于弹性、小挠度极限来选择微桥尺度,并确定实验载荷及小挠度范围的方法,解决了微桥样品尺度以及载荷、挠度范围选择的问题.对两组挠度-载荷实验曲线的分析表明了该方法的可行性.

关键词: 微桥试验 , 力学性能 , 固态薄膜

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