史冰川
,
董俊
,
李昆
,
黄磊
,
亢若谷
,
邱建备
材料科学与工程学报
doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.03.037
本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术.简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较.根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献.
关键词:
硅芯
,
杂质分凝
,
杂质挥发
,
坩埚污染
