高立刚
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陈刚
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邓书康
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陈亮
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阚家德
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俞帆
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杨宇
功能材料
采用直流磁控溅射技术制备了不同衬底温度下的Ge单层膜,XRD分析结果表明,当衬底温度低于350℃时Ge膜为非晶结构,高于400℃时开始结晶.并研究了不同尺寸Ge颗粒的Ramah散射谱特征,与晶体Ge的散射谱相比,观察到纳米Ge颗粒Raman散射谱的峰位红移与峰形宽化现象;并根据Raman谱的红移量计算了纳米Ge晶粒的平均尺寸,采用声子限域理论较好地解释了实验结果.
关键词:
Ge薄膜
,
XRD
,
Raman散射光谱
,
晶粒尺寸
,
声子限域理论
