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多弧离子镀Ti(C,N)/TiN多元多层膜研究

黄元林 , 李长青 , 马世宁

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.06.002

在LF6防锈铝的基体上采用多弧离子镀技术沉积了Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN六层多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:多元多层膜表面膜层均匀,未出现龟裂现象;膜与基体之间形成了纳米级厚度的Al3Ti新相层,说明膜与基体间的结合存在化学键合,结合强度良好,划痕临界载荷达79N.显微硬度达HV0.11 911.0,与基体相比,其表面显微硬度提高了近20倍,耐磨性提高了10倍以上,但摩擦因数较高(μ=0.66),粘着对偶件磨损,使对偶件磨损较严重.

关键词: 多弧离子镀 , 铝质材料 , 多元多层膜 , 结合强度 , 摩擦学

铝合金Ti(C,N)/TiN多元多层膜与阳极氧化膜性能比较

黄元林 , 马世宁 , 李长春 , 李新

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2004.05.006

分别采用多弧离子镀技术及阳极氧化技术在LF6防锈铝基体表面制备了Ti(C,N)/TiN/Ti(C,N)/TiN/ Ti(C,N)/TiN六层多元多层膜及阳极氧化膜,并对比考察研究了该两种膜的力学性能和摩擦学性能,结果表明:多元多层膜与阳极氧化膜划痕临界荷载分别为76N,60N;显微硬度分别为HV0.251404,HV0.25520;二者摩擦系数都较高,分别为0.66,0.76;都使对偶件磨损;但与传统的阳极氧化膜相比,多元多层膜硬度与耐磨性都提高了近2倍,且其摩擦曲线平滑,呈稳定磨损状态,而阳极氧化膜摩擦曲线呈跳跃状,呈非稳定磨损状态.

关键词: 铝合金 , 多弧离子镀 , 多元多层膜 , 阳极氧化 , 摩擦学

Ti/Me多元复合靶真空电弧沉积的研究

曾鹏 , 胡社军 , 谢光荣 , 黄拿灿 , 吴起白

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.11.011

用Ti/Mo、Ti/W、Ti/FM复合靶和真空电弧沉积技术制备了三种多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明,多元复合靶与多元膜层之间存在着成分离析效应,组元Mo、W和Fe具有负的成分离析,而组元Cr和A1与靶材的成分相当.多元膜层致密,其结构形式为(Ti,Me)2N和(Ti,Me)N.测试表明按多元多层膜设计的膜层Ti/TixN/(TiyMe1-y)N/(Ti,Me)xN具有较高硬度和耐磨性能,经600℃×100h的氧化,多元多层膜有良好的抗氧化性能,其中以含W的膜层的抗氧化性能最佳.

关键词: 多元多层膜 , 真空电弧沉积 , 组织与性能

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