刘学杰
,
李智
,
张安萍
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.01.022
为在物理气相沉积过程中获得理想的晶粒尺寸,介绍了一种精确控制纳米晶粒尺寸的微观控制方法,即用光的干涉方法控制能量场分布.利用MATLAB的循环计算能力计算光的矢量叠加,仿真光的干涉,分别对扬氏干涉、三光源干涉以及多光源不同排布的干涉进行分析.经过分析可知:3个或3个以上的光源线性排列时,得到的条纹是将两光源的条纹打碎；而多个光源按正多边形排列的干涉,规律排布区域出现在光源围成的区域中间,3个、4个及6个光源规律排布区域中加强点的间距分别为λ/(√3),λ(√2)和2λ；若要得到1 cm2规律排布区域,3个光源与规律排布区域中心的距离为0.1m,4个光源则为1 m.
关键词:
物理气相沉积
,
晶粒尺寸
,
杨氏干涉
,
多光源干涉
,
矢量叠加
,
MATLAB
