崔云先
,
杨德顺
,
孙宝元
,
贾颖
,
徐军
功能材料
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO_2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备工艺.通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO_2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进行了观测,结果表明,制备的多层复合SiO_2薄膜厚度小、绝缘性好,绝缘电阻达到9.5×10~(12)Ω.其与金属基体结合力可达16.7N,满足制作切削刀具测温传感器的要求.
关键词:
切削刀具
,
测温传感器
,
SiO_2绝缘薄膜
,
多层复合
,
磁控溅射
魏美玲
,
王守兴
,
王再义
,
康立敏
宇航材料工艺
doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2015.05.004
以多孔氮化物陶瓷材料为频率选择表面(FSS)多层复合透波材料的介质支撑体,以耐高温的导电金属铂采用丝网印刷工艺制备FSS,通过多层FSS的复合制备了宽频透波材料,对其微观结构和透波性能进行了测试分析.结果表明:多层FSS层间结构重叠性好,周期一致;FSS材料组成稳定,形成具有良好导电性能的致密结构层;多层陶瓷/金属FSS在9.5～18 GHz具有95％以上的透过率.
关键词:
陶瓷基
,
频率选择表面(FSS)
,
多层复合
,
透波材料
