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脉冲偏压对(Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响

毛延发 , 唐为国 , 兰新哲 , 周廉 , 韩培刚

中国材料进展

采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N多层复合涂层.所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统.简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程.鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响.同时测试了复合涂层的vickers硬度与偏压幅值的关系.研究结果得出,随着脉冲偏压幅值的增加,涂层中Al含量先增加,然后减少,偏压幅值为-150v时,Al含量高达36.41at%;偏压幅与涂层显微硬度的关系有相似的规律,在偏压幅值为-150V时,7层复合膜的vickerB硬度达2750 MPa左右,10层复合膜的硬度约2880 MPa.

关键词: 多弧离子镀 , (Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N , 多层复合涂层 , 维氏硬度

CNx/TiN多层复合涂层抗水蚀性能的研究

杨兵 , 丁辉 , 刘传胜 , 范湘军

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.2004.02.005

采用多弧-磁控溅射镀膜机在不锈钢2Cr13衬底上沉积CNx/TiN多层复合涂层.利用光电子能谱仪(XPS)和透射电子衍射(TED)对涂层的组成和结构进行分析.利用自行研制的高压水蚀试验装置对不锈钢、高铬铸铁、司太立合金以及CNx/TiN多层复合涂层的抗水蚀性能进行对比试验,最后对涂层的水蚀失效机理进行了探讨.试验结果表明:CNx/TiN多层复合涂层具有较高的硬度、附着力、抗热冲击性能以及优异的抗水蚀性能,是一种优良的汽轮机末级叶片抗水蚀用涂层.

关键词: 多层复合涂层 , 硬度 , 附着力 , 抗水蚀性能

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