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a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析

冯团辉 , 张宇翔 , 王海燕 , 靳瑞敏 , 卢景霄

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2005.03.038

论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景.另外,还讨论了通过Raman光谱求纳晶硅薄膜的晶粒尺寸和结晶度的方法.

关键词: 非晶硅薄膜 , 再结晶技术 , 多晶硅薄膜太阳电池 , Raman光谱 , 晶粒尺寸 , 结晶度

石英衬底上柱状多晶硅薄膜的制备

张丽伟 , 周伶俐 , 李瑞 , 李红菊 , 卢景霄

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.02.034

利用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在已经预沉积有非晶硅薄膜的石英衬底上低温沉积了N/I非晶硅薄膜,对样品进行了两步快速光热(RTP)退火.采用Raman、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等测试仪器对样品退火前后的结晶状况和微观形貌进行了分析.结果表明,该N/I非晶硅薄膜退火后的晶化率达到了94%左右,断面形貌为柱状结构,样品中的平均晶粒尺寸约30nm,晶粒团簇的尺寸最大约1.5um.

关键词: 快速光热退火 , 柱状结晶 , 多晶硅薄膜 , 多晶硅薄膜太阳电池

陶瓷衬底上多晶硅薄膜太阳电池研究进展

刘萍 , 杨仕娥 , 王生钊 , 王红娟 , 张宇翔 , 卢景霄

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.046

多晶硅薄膜太阳电池在提高电池效率和大幅度降低成本等方面具有极大潜力.陶瓷材料是高温路线制备多晶硅薄膜电池最常用的衬底材料之一.本文介绍了陶瓷衬底上多晶硅薄膜的制备方法及其电池结构和相关工艺,最后综述了当前该领域的最新研究进展.

关键词: 多晶硅薄膜太阳电池 , 陶瓷衬底 , 转换效率

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