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低温PVD法制备多组分超硬薄膜相组成研究

彭志坚 , 苗赫濯 , 刘亮 , 齐龙浩 , 司文捷 , 李文治

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.034

回顾了多组分硬质薄膜的发展,指出了多组分薄膜低温淀积时相组成研究与预测存在的问题.对多组分硬质薄膜,包括类质同晶体系与多组分共熔体,低共熔体系、转熔体系、亚稳定固熔体与非晶固熔体,化合物,梯度薄膜,多相薄膜材料,多层薄膜和超晶格薄膜等可能的相组成与相关性质进行了讨论.对淀积速率与薄膜厚度,相组成与薄膜均质性,超晶格薄膜硬度与超晶格周期等的计算模型进行了评述.

关键词: 多组分薄膜 , 超硬薄膜 , 相组成

低温PVD法制备多组分超硬薄膜研究

彭志坚 , 齐龙浩 , 刘大鹏 , 李文治 , 苗赫濯

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.01.029

对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题,指出了解决的办法;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题;指出了用低温PVD法淀积多组分超硬薄膜研究方向.

关键词: 多组分薄膜 , 硬质薄膜 , 低温 PVD法

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