刘长林
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汪建华
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熊礼威
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刘繁
低温物理学报
大气微波等离子体矩具有无电极放电污染、无需昂贵真空设备和易于连续化加工等特点,具有广阔的应前景.本文设计了一套基于BJ26波导的微波能利用率高、稳定性好的大气微波等离子体装置.该装置由最高输出功为800W的2.45GHz程控微波源、调配系统、波导谐振腔和耦合天线组成.利用加装游标卡尺的接触式短路活塞,微波反射面位置进行高精度调节,通过对波导谐振腔和耦合天线的设计,在大气环境下实现了微波等离子体的放电在不同微波功率、气源以及气体流量条件下进行了等离子体放电实验.结果表明,微波功率为700W、氩气流量为3103cm3/min时,等离子体放电强度最高、稳定性最强.利用电磁场理论对各种实验结果进行了详尽的分析.
关键词:
大气压力
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等离子体炬
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等离子体波导
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放电
