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大相对孔径凹非球面镜的加工

孔祥蕾 , 郝沛明 , 丁厚月

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2001.01.011

过去一直采用平行光管来加工和检验大相对孔径凹非球面的方法，存在许多不足之处，如加工精度不高和加工周期长等。现在我们采用补偿法，则可以在较短的时间内获得高精度的凹非球面，其精度可达λ/10～λ/20(rms)。经过长期的实践，已充分证明了这种方法是可行的。

关键词: 大相对孔径 , 凹非球面 , 补偿法