王位
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蔡珣
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陆明炯
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夏立芳
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.04.005
介绍了自主开发的基于输运理论和蒙特卡罗方法的计算离子注入射程分布的软件集成系统JTU-PRII(JiaotongUniversity-ProjectRangeIonImplantation)，该系统整体上具有通用性、高效性和实用性。通用性即：该系统具有注入离子参数库和注入零件材料库的生成和调用功能，能计算各种注入条件下，包括各种注入离子，各种成分和形状的靶材，不同注入能量、注入剂量和注入角度时注入离子在靶材中的分布；高效性即：由于在关键步骤中用数值拟合公式代替了数值迭代求解，用固定飞行路程代替随机路程，使计算效率大大提高，计算速度大大加快；实用性即：由于考虑了溅射效应和靶材成分在注入过程中的动态变化，加之蒙特卡罗方法的固有特性，使计算的前提假设更接近实际，计算结果更加准确。与其它著名的同类软件，如TRIM和SASAMAL相比，该软件系统界面美观，操作便捷，能动态显示中间计算结果和注入过程曲线的变化，可调用、计算、比较、注释、拷贝和打印各条成分分布曲线，计算结果与实验结果吻合得也很好。
关键词:
输运理论
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MonteCarlo方法
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离子注入
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射程分布
卫增泉
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袁世斌
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颉红梅
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赵力民
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毛淑红
原子核物理评论
doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2003.03.010
采用110 keV 56Fe1+离子束垂直注入小麦种胚后, 将小麦沿腹面的纵沟掰开, 形成剖面, 将剖面水平朝上粘贴在金属铜托上, 用扫描电镜在剖面上从胚表面向纵深进行点分析, 测定不同深度上由Fe元素激发出的特征X射线强度, 由此得到了该种离子注入小麦胚内的最大射程约5 μm, 最可几射程为0.935 μm. 并对这种低能离子注入作物种子能诱发突变的机理进行了详细讨论.
关键词:
低能离子注入
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小麦
,
胚
,
X射线能谱分析
,
射程分布
