田会娟
,
郝斌
,
徐俊波
,
田亚峻
,
温浩
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.01.006
纳/微氧化锌材料性能优良,用途广泛,制备方法较多,其中化学气相沉积法(CVD)是较常用的方法之一.详细介绍了CVD方法制备纳米氧化锌的主要影响因素,概述了计算流体动力学(CFD)模拟在化学气相沉积法方面的应用和研究现状,并指出应该采用实验研究和计算模拟相结合的方法进行研究,利用计算模拟指导实验,从而实现纳微结构的可控生长.
关键词:
纳微结构氧化锌
,
化学气相沉积
,
局部气氛
,
数值模拟
