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严慧敏 , 郭颖 , 朱华新 , 刘桂林 , 朱冰洁 , 李帅 , 李果华
人工晶体学报
聚合物太阳电池的制备中,阳极ITO的制备是决定器件效率的重要工艺之一.本文主要对ITO电极的湿膜光刻和干膜光刻制备方法进行了比较,并用光学相干断层扫描(OCT)技术等方法对制备的电极进行了检测,结果表明湿膜光刻可以获得较为精细的电极结构.
关键词: 湿膜光刻 , 干膜光刻 , OCT , ITO电极
