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温度对AZ91D镁合金表面弧辉等离子沉积TiN薄膜的影响

缪强 , 崔彩娥 , 潘俊德 , 张平则 , 段良辉 , 刘亚萍

稀有金属材料与工程

采用弧辉等离子沉积工艺在镁合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜.研究了沉积温度对膜层的厚度、结合力及硬度的影响.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和辉光放电光谱(GDS)分析了涂层的成分和微观结构.结果表明,随着控制温度的升高,膜层厚度呈缓慢增加的趋势,但温度过高或过低结合力明显下降,以160~180℃最佳.180℃时的硬度HK0.01最高,达14 630 MPa.

关键词: AZ91D镁合金 , TiN薄膜 , 弧辉等离子沉积 , 结合力 , 硬度

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