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基于AFM力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法

栗大超 , 徐临燕 , 傅星 , 胡小唐

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.036

本文阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚度测量的两个典型应用进行了介绍.对硅纳米梁进行了厚度测量,并进行了重复性实验,梁的平均测量度为160.36nm.

关键词: 纳机电系统 , 纳米梁 , 厚度测量 , AFM , 弯曲测试