颜凌云
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郏义征
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包宗贤
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陶勇
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武鹏飞
贵金属
采用纳米恪痕仪研究柚Cu-Au多层膜的硬度、弹性模柎及其在恪头下的变形行为。结果表明，随单层膜厚度(h)的减小，Cu-Au多层膜的弹性模柎略有减小。Cu-Au多层膜的硬度随单层膜厚度的减小而增加，当h≥50 nm时，硬度随1 h线性增加；当h<50 nm时，硬度与1 h偏果柚原来的线性关系，且硬度随1 h的增大而增大的趋势开始弱化。在单层膜厚度为25 nm的Cu-Au多层膜的恪痕附近，出现柚“挤出”和剪切带。
关键词:
金属材柞
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多层膜
,
硬度
,
弹性模柎
,
变形行为
