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强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜

唐永兴 , 李海元 , 严海华 , 乐月琴 , 贾巧英 , 刘瑞军

稀有金属材料与工程

对不同比例的Si(OC2H5)4:H2O:C2H5OH:NH3:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜悬胶体粘度变化的规律性,TEM测量了悬胶体内部SiO2颗粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态,研究开发了高激光破坏阈值减反膜和防潮膜.涂制多孔SiO2减反膜后K9和石英玻璃,单波长表面反射率减少约7.5%,激光破坏阈值>15 J/cm2,1 053 nm/1ns;涂制防潮膜减反膜的KDP晶体,双波长表面反射率减少6.5%~7.5%.膜层表面均匀性优良.

关键词: 强激光负载 , 溶胶-凝胶 , 减反膜 , 防潮膜

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