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HFCVD金刚石薄膜在Mo基体表面的形核

王婷 , 余志明 , 游小龙 , 丰杰

材料科学与工程学报

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法在Mo基体上沉积金刚石薄膜,使用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对薄膜样品进行分析检测,研究了表面形核密度随碳源浓度的变化.结果表明:随着碳源浓度增加表面形核密度增大,当碳源浓度达到3%时,表面形核密度质量最佳,当浓度进一步增大时,形核密度下降;随着碳源浓度增加,生长加快,当生长过快时影响形核过程,形核密度下降.

关键词: HFCVD , 形核密度 , 金刚石薄膜 , Mo基体

WC-Co硬质合金基体上高附着力金刚石薄膜的制备

杨仕娥 , 鲁占灵 , 樊志琴 , 姚宁 , 张兵临

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.038

采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法在WC-Co硬质合金基体上制备金刚石膜,研究了TiNx中间层的引入对金刚石薄膜质量及其附着性能的影响.结果表明,在酸浸蚀脱钴处理的基础上,通过预沉积氮含量呈梯度变化的TiNx中间过渡层,可在硬质合金基体上制备出高质量的金刚石薄膜;压痕法测试其临界载荷达1000N.

关键词: 金刚石薄膜 , 中间层 , 形核密度 , 附着力

Al-Zr-Y合金的时效析出机制和性能

顾静 , 田园 , 高海燕 , 王俊 , 孙宝德

中国有色金属学报

采用透射电镜、扫描电镜、三维原子探针等手段研究A1-Zr-Y合金的时效析出行为及Y含量对合金性能的影响规律.结果表明:Al-Zr-Y合金时效初期首先析出Al3Y相,可能成为A13Zr时效析出的异质核心;长时间时效后,Y有向析出相和基体界面处偏聚的倾向,最终形成无核壳结构的A13(Zr,Y)复合析出相;在三元Al-Zr-Y合金中,由于Zr的存在,Y在α(Al)中的平衡固溶度大幅度下降,600℃下的平衡固溶度从0.13%(质量分数)降至0.03%.Y含量较高的Al-0.30Zr-0.08Y在凝固及冷却过程中,过饱和的Y转变为沿晶界分布的Al3Y共晶和晶内一次析出微米级Al3Y颗粒,使铝基体中的有效Y含量较A1-0.30Zr-0.03Y中的降低4倍.Al-0.30Zr-0.03Y合金在时效过程中表现出更高的形核密度、更小的析出相尺寸和更优的抗粗化能力,合金的抗再结晶温度达到500℃,比Al-0.3Zr和A1-0.30Zr-0.08Y合金的抗再结晶温度分别高出125和75℃.

关键词: Al3(Zr,Y) , 析出机制 , 形核密度 , 抗粗化 , 抗再结晶

衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响

张贵锋 , 郑修麟

材料研究学报

用燃烧火焰法在TC4 Ti 合金和单晶Si(001)面上沉积了金刚石薄膜。对合成的膜进行了扫描电镜、激光喇曼光谱分析。结果表明,金刚石薄膜的结构和形貌强烈取决于沉积温度、O_2/C_2H_2流量比等工艺参数。研究了衬底表面预处理对金刚石薄膜形核及长大的影响,并对表面预处理影响形核的原因进行了初步探讨。

关键词: 燃烧火焰法 , diamond film , surface pretreatment , nucleation density

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