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MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展

章磊 , 谢超英 , 吴建生

材料导报

总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向.

关键词: 微机电系统 , 形状记忆合金薄膜 , 力学性能