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微区电沉积技术及其研究进展?

徐晨 , 刘德荣 , 刘磊 , 胡文彬 , 吴忠

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.007

微纳尺度的三维结构构造技术存在成本高、效率低、环境依赖性强等问题，微区电沉积技术的发展在一定程度上解决了上述问题。介绍了微区电沉积的技术原理、过程控制以及研究现状，讨论了微区电沉积研究中的参数优化、过程模拟与技术发展，并对微区电沉积技术未来的研究重点与发展趋势进行了展望。

关键词: 微区电沉积 , 3D结构 , 技术概况