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电子束物理气相沉积工艺制备超薄高温结构材料的研究

马李 , 孙跃 , 赫晓东 , 李垚

材料导报

介绍了包括热障涂层、高温合金薄板、金属/陶瓷及金属/金属间化合物微叠层薄板等金属热防护系统结构材料的特点,并简要介绍了电子束物理气相沉积设备的工作原理、结构及其工艺特点.着重评述了利用该工艺制备多种体系高温结构材料的研究现状,最后对未来的发展趋势作出了客观的评价与展望.

关键词: 会属热防护系统 , 高温结构材料 , 电子束物理气相沉积 , 微叠层材料

微叠层结构材料的研究现状

马培燕 , 傅正义

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.04.032

本文论述了微叠层材料性能优越于单体材料的原因:该材料的层间距较小,限制了位错的移动和缺陷的尺寸.微叠层材料制备方法有多种,磁控溅射是制备纳米级微叠层材料的有效方法.Hall-Petch理论,Orowan变形理论,多微粒模型等是计算层间应力的较好的理论.本文也提出了目前有发展前途的几种微叠层材料,并认为制备纳米级微叠层材料、研究其断裂和脱层机理、增韧机理是该材料领域的重要研究方向.

关键词: 微叠层材料 , 层间距 , 制备方法 , 层间应力

微叠层材料及其制备工艺研究进展

宇航材料工艺

着重论述了各种微叠层材料及其制备方法,认为电子束物理气相沉积是制备微叠层材料的有效方法;同时对微叠层材料性能方面的研究也作了相应的论述,并展望了我国今后在这方面的研究方向.

关键词: 微叠层材料 , 制备方法 , 设备 , 性能研究

TiAl/Ti3Al超薄多层复合材料的微观结构与力学性能

申造宇 , 何利民 , 黄光宏 , 牟仁德 , 顾金旺 , 刘维众

金属学报 doi:10.11900/0412.1961.2016.00091

采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)制备出大尺寸、超薄、化学成分均匀的TiAl/Ti3Al微叠层复合材料.通过XRD和SEM对材料的相组成和微观结构进行了分析.结果表明:TiAl/Ti3Al微叠层表面状态良好,具有明显的层状结构,相结构由α2-Ti3Al和γ-TiAl组成.利用热等静压技术对微叠层进行了致密化处理,经热等静压处理后的试样具有较高的拉伸强度,并表现出较好的延伸率.根据拉伸断口形貌及结构特征,探讨了微叠层材料薄板的微观变形机制和断裂机理.TiAl/Ti3Al微叠层薄板经热等静压处理后,材料断裂方式由沿晶脆性断裂转变为具有一定韧性的准解理断裂和沿晶脆性断裂的混合断裂方式.

关键词: 电子束物理气相沉积 , 微叠层材料 , 微观结构 , 力学性能 , 断裂机理

Ti/Ti-Al微叠层复合材料的微观组织与性能研究

马李 , 孙跃 , 赫晓东

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2007.z1.018

采用大功率电子束物理气相沉积(EB-PVD)制备了厚度为0.12mm的大尺寸Ti/Ti-Al叠层状复合材料.利用XRD和SEM对材料的组成相和微观结构进行了分析,对致密化处理前后的试样进行了不同温度下的静拉伸试验研究.实验结果表明:材料由Ti,α2-Ti3Al和γ-TiAl相组成,具有明显的层状结构,晶粒平均尺寸为100~300nm.相对于TiAl单体材料,微叠层材料的韧性有了较大提高,经致密化处理后的试样在层间界面对裂纹的钝化作用下,具有较高的拉伸强度,并表现出良好的延迟断裂特性.

关键词: 电子束物理气相沉积 , 微叠层材料 , 微观结构,力学性能

Ti/Ti-Al大尺寸微叠层材料的制备与性能研究

马李 , 孙跃 , 赫晓东

稀有金属材料与工程

采用大功率电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备了层厚比为1:1的Ti/Ti-Al微叠层复合材料薄板,用XRD和SEM对材料的微观结构进行了表征,对其室温及高温拉伸性能进行了测试.结果表明:材料由Ti,α2-Ti3Al和γ-TiAl相组成,层状结构对提高材料的室温塑性有利;尽管未经致密化处理的材料存在着较多微孔,但在金属间化合物层的反常强化及层间界面对裂纹的钝化作用下,材料仍具有较高的抗高温拉伸强度和良好的高温延迟断裂特性.

关键词: 微叠层材料 , 电子束物理气相沉积 , 力学性能

金属/陶瓷微叠层材料的微观结构及力学性能

史国栋 , 梁军 , 陈贵清 , 杜善义

稀有金属材料与工程

采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备了金属(NiCoCrAl)/陶瓷(Y2O3-ZrO2)微叠层材料,并对其微观结构和力学性能进行了分析.结果表明,金属层和陶瓷层间界面较为平直、清晰.金属层由γ-Ni相构成,层中晶粒为较大的等轴晶.陶瓷层由c-ZrO2和t-ZrO2两相组成,层中晶粒为较小的柱状晶.在金属层的顶部,存在一些均匀分布的微孔.这种材料在室温拉伸试验中表现出无宏观塑性变形的脆性断裂特征.断口分析表明,金属层起到了阻碍裂纹扩展的作用,且层界面存在脱粘的现象.

关键词: 金属/陶瓷 , 微叠层材料 , EB-PVD

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