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乙烯-乙烯醇共聚物微图案膜的制备与表征

侯琴 , 张玉忠 , 林立刚 , 丁晓莉 , 叶卉 , 李泓

高分子材料科学与工程

通过模板复制法制备具有微米级图案的乙烯-乙烯醇共聚物(EVAL)微图案膜.采用电子显微镜等表征方法,研究影响EVAL微图案膜结构性能的因素与微图案复制性的关系,考察微图案对膜材料浸润性的影响.研究表明,微图案增大膜表面的粗糙度,显著改善了EVAL膜的浸润性.当凝固浴温度为30℃时,EVAL柱形微图案膜表面的接触角为23.1°,与EVAL原膜相比,接触角降低10°左右.研究发现较低的相分离速率有利于EVAL微图案膜的复制;微图案复制规整度越高,图案收缩率越有利于微图案的复制.

关键词: 微图案 , 浸润性 , 模板复制法 , 乙烯-乙烯醇共聚物

聚醚砜微图案膜的模板法制备及性能表征

万伟娜 , 张玉忠 , 林立刚 , 丁晓莉 , 李泓

膜科学与技术 doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2012.04.001

以聚醚砜(PES)为基质膜材料,利用微图案硅片为模板,通过非溶剂致相分离法(NIPS)制备PES微图案膜,研究制膜条件对膜表面微图案及膜结构、性能的影响,考察图案化前后PES膜的水通量、接触角、孔隙率、拉伸强度性能差异.结果表明,以模板法制得的PES 膜表面呈现规整的微图案,且膜表面微图案的规整性随铸膜液中PES浓度的增加而提高.接触角、孔隙率和水通量测试表明,相对于PES原膜,制得的微图案膜具有较高的接触角和较高的孔隙率及水通量;机械性能测试表明,图案化前后膜的拉伸强度变化不大.

关键词: , 微图案 , 聚醚砜 , 模板

基于微接触印刷法的PbS微图案的制备

刘建平 , 杨小敏 , 王雪芳 , 赵永刚

材料导报

以聚二甲基硅氧(PDMS)弹性体为印模,十八烷基三氯硅烷(OTS)为"墨水",采用微接触印刷法分别在平整的玻璃基片表面和弯曲的玻璃棒表面进行印刷操作,将印刷后的基片浸入到PbS化学浴液中沉积得到微图案化的PbS薄膜.交叉印刷和光学显微观察结果表明,所沉积的PbS微图案边界清晰规整,并且PbS会选择性沉积在基片表面没有被OTS覆盖的区域.

关键词: 微接触印刷 , 微图案 , 化学沉积

硅基图案化HfO2表面微结构的制备和表征

谈国强 , 博海洋 , 苗鸿雁 , 夏傲 , 贺中亮

功能材料

结合光刻印技术和HfO2液相自组装沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的HfO2薄膜,该硅基图案化HfO2微结构近来在工业界特别是微电子领域引起极度的关注.X射线衍射(XRD)与扫描电镜(SEM)显示,在图案区域成功制备了HfO2薄膜,EDS能谱测试显示了图案区域的HfO2薄膜的化学组成.

关键词: 微图案 , 光刻印 , HfO2微结构

微图案BiFeO3薄膜的光刻自组装制备与表征

王艳 , 谈国强 , 苗鸿雁

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.10223

利用光刻自组装技术在玻璃基板上成功制备出图案化的BiFeO3薄膜.AFM和接触角测试表明,紫外光照射引起十八烷基三氯硅烷(OTS)单层膜改性,形成憎水的自组装单分子(SAM)区域和亲水的硅烷醇区域;XRD和XPS结果显示,OTS单层膜和紫外照射处理的玻璃基板表面诱导吸附的薄膜为纯相六方扭曲钙钛矿结构的BiFeO3薄膜:SEM和EDS表明,SAM区域沉积的BiFeO3薄膜不连续,在超声波震荡下容易脱落,而硅烷醇区域沉积的BiFeO3薄膜致密均一,与基底结合牢固,边缘轮廓清晰.

关键词: 光刻白组装技术 , BiFeO3薄膜 , 微图案

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