杨卓青
,
丁桂甫
,
蔡豪刚
,
付世
,
赵小林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.013
基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关.较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏.对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加.
关键词:
微型惯性开关
,
非硅表面微加工
,
设计
,
动力学仿真
