孔凡国
,
陈然然
,
段文科
功能材料与器件学报
超声换能器(也称超声探头)是医疗超声设备的关键部件之一,其特性的好坏直接影响甚至会限制到整个设备的性能.随着压电材料和微机电系统(简称MEMS)技术的不断发展,尺寸小、质量轻、频带宽、高分辨率、高频率、高灵敏度将是医用超声换能器未来主要的发展方向.综述目前国内外高频医用超声换能器的应用发展状况,重点探讨了其国内外发展的现状差异和主要问题,并根据高频医用超声换能器的现状对其未来的发展趋势进行展望.
关键词:
医疗超声设备
,
高频超声换能器
,
压电材料
,
微机电系统
周玉凤
,
刘瑞
,
汪红
电镀与涂饰
对玻璃基双层镍表面进行阳极活化以提高镍层之间的结合强度.阳极活化液组成和工艺条件为:NiCl2·6H2O 100 g/L,H3BO325g/L,pH 4.0,温度45℃,阳极电流密度10～30 mA/cm2,时间5～15 min.研究了电流密度和处理时间对镍镀层表面形貌、孤岛结合力、表面粗糙度和界面结合强度的影响,探讨了双层镍表面粗糙度和界面结合强度的关系.结果表明,在30 mA/cm2下阳极活化10 min后,双层镍的界面结合强度为629.8MPa,比盐酸活化试样高了近2倍.镍层表面粗糙度与界面结合强度之间有明显的对应关系,表面粗糙度越大,界面结合强度越高.采用阳极活化法可有效提高微机电系统微器件的可靠性.
关键词:
微机电系统
,
阳极活化
,
镍镀层
,
表面粗糙度
,
界面结合强度
程秀兰
,
蔡炳初
,
徐东
,
王莉
功能材料
形状记忆合金(SMA)薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能,而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力.本文主要介绍了以TiNi基合金为主的形状记忆合金薄膜在微驱动器和微传感器上的国内外应用性研究现状,并展望了其未来的发展趋势.
关键词:
形状记忆合金
,
形状记忆效应
,
超弹性
,
微机电系统
,
微驱动器
,
微传感器
王瑞金
,
楼少敏
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.03.020
利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动,成功地设计了磁流体微泵,试验表明:磁流体微泵的输出压力最高达到1180 Pa,输出流量最大可达50μl/min,磁场转速和输出压力、输出流量的在低转速时几乎线性关系,但超过一定的转速,输出流量和压力将迅速下降.为微机电系统提供可靠的驱动元件.
关键词:
微机电系统
,
磁流体
,
微泵
,
旋转磁场
王晓东
,
刘冲
,
王立鼎
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.001
微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用.本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,概括了研究特点及发展趋势.
关键词:
微型夹钳
,
微装配
,
微机电系统
,
微系统技术
王佩红
,
鲁李乐
,
戴旭涵
,
赵小林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.038
采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能.整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成.采用Uv-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3.Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz.对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV.
关键词:
振动能量采集器
,
微机电系统
,
电磁式
,
铜平面弹簧
,
双层线圈
郑晓虎
,
朱荻
,
朱增伟
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2007.03.010
研究了电铸镍铁合金制备过程中工艺条件对电铸层成分的影响,获得含铁质量分数20%电铸层的最佳工艺条件为镀液硫酸亚铁含量6 g/L、pH值2.5、温度55℃、电流密度3.5 A/dm2;讨论了镀层形貌及电磁性能的变化关系.结果表明:制备的镀层表面光亮、结构致密,晶面为(111)、(220)、(200).该铸镍铁合金矫顽力最小为2.95×10-2 A/m,表现出较强的顺磁性.剩磁力随着铸层铁含量的增大呈下降趋势,饱和磁化强度为IJ85合金的10%,具有优良的电磁性能.可以用于制造微型磁执行器与传感器元件.
关键词:
电铸
,
镍铁合金
,
电磁性能
,
微机电系统
