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微波CVD方法在Ar-CO2-CH4体系中沉积超纳米金刚石薄膜

丰杰 , 祁尧 , 盛景恺 , 李周 , 马莉 , 吴先哲 , 胡东平 , 梅军 , 余志明

稀有金属材料与工程

采用微波CVD系统研究了Ar-CO2-CH-4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响.结果表明:以Ar-CO2-CH4为反应气源,可制备出晶粒尺寸为20 nm左右、表面粗糙度在16 nm以下,厚度达5μm以上,结构致密的超纳米金刚石薄膜;在Ar-Ct4组分中添加CO2可明显提高金刚石膜的沉积速率,但采用该气源组分能够得到致密金刚石膜的气源组成范围很窄.其原因和控制方式有待深入研究.

关键词: 超纳米金刚石 , 微波化学气相沉积 , Raman分析 , 原子力显微镜 , 沉积速率

制备温度对热解炭包覆磷酸铁锂/气相生长炭纤维复合正极材料的影响

邓飞 , 曾燮榕 , 邹继兆 , 黎晓华

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.01141

采用微波化学气相沉积法一步合成了热解炭包覆磷酸铁锂/气相生长炭纤维复合正极材料.借助X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、高分辨透射电镜和电化学测试仪等测试手段研究了不同制备温度对材料晶体结构、显微形貌和电化学性能的影响.结果表明,当制备温度由500℃升至600℃时,磷酸铁锂主晶相的颗粒尺寸没有发生明显变化,而原位VGCF的网络程度却明显增加,材料的放电比容量随之提高;当制备温度进一步升高到700℃时,磷酸铁锂颗粒异常生长现象加剧,VGCF直径较大且粗细不均,材料的电化学性能变差.研究发现,当温度为600℃时,材料表现出较优的电化学性能,25℃在0.2C、0.5C、1C和3C倍率下的放电比容量分别可达163、159、153和143mAh/g.

关键词: 磷酸铁锂 , 热解炭 , 气相生长炭纤维 , 微波化学气相沉积 , 锂离子电池

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