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微波固态电路腔体的磁控溅射镀银工艺研究

李晓艳 , 仝晓刚

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2014.06.003

研究了铝合金微波固态电路腔体磁控溅射镀银工艺方法.通过对铝合金微波固态电路腔体进行化学氧化、磷酸阳极氧化前处理,解决铝基材微波固态电路腔体溅射银层的附着力问题;通过保护工装设计,实现腔体选择性溅射,满足微波固态电路组装要求.

关键词: 磁控溅射 , 铝合金基体 , 局部镀银 , 微波固态电路腔体

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