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BST薄膜高介电调谐率和低介电损耗的设计

蔡玉平 , 冯蒙丽 , 韩代朝

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2010.04.015

钛酸锶钡(BST)薄膜显著的介电非线性效应归因于Ti4+偏离氧八面体中心的位移.从BST薄膜的相变行为出发,讨论影响介电性的3种因素,即组分、电极材料和薄膜厚度,以期保持BST薄膜高介电调谐率的同时,获得低介电损耗,为最大限度地提高BST微波移相器的性能提供可能.

关键词: 铁电薄膜 , 介电非线性 , 微波移相器