安晓明
,
苟立
,
何琨
,
冉均国
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.01.005
采用微波等离子体法,分别使用H和O等离子体对金刚石薄膜表面进行改性处理.通过扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),X射线光电子能谱(XPS),并结合接触角随时间变化的曲线,初步评价了改性前后薄膜表面显微结构和成分的变化对亲水性的影响.结果表明:同一条件下制备的金刚石薄膜表面形貌、粗糙度差异不会影响表面亲水性;改性前金刚石薄膜亲水性差,H、O等离子体改性后薄膜表面接触角由原来的81°下降到20°以下,形成了亲水性良好的表面;暴露在空气中后,接触角在前3天的变化很大,这种变化与薄膜表面成分的改变密切相关.
关键词:
金刚石薄膜
,
改性
,
微波等离子体
,
接触角
,
亲水性
李义锋
,
佘建民
,
苏静杰
,
唐伟忠
,
李效民
,
徐小科
人工晶体学报
利用自行研制的可调谐圆柱谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置的结构优势,设计了电极可调节的偏压加强MPCVD装置.采用脉冲激光沉积(PLD)法制备了Ir(100)/MgO (100)基片.采用偏压加强MPCVD装置进行了金刚石异质外延形核的探索,在Ir(100)/MgO (100)基片上实现了金刚石异质外延形核.扫描电镜结果显示,[100]取向的金字塔状外延金刚石晶粒的形核密度达108～109 cm-2.
关键词:
金刚石
,
异质外延
,
化学气相沉积
,
微波等离子体
,
偏压加强
孙文周
,
王兵
材料科学与工程学报
采用微波等离子体固相反应法(MWPM)合成SrAl2O4:Eu2+,Dy3+稀土长余辉发光材料,运用正交实验方法进行了工艺优化实验.研究了工艺参数对产物发光性能的影响规律.结果表明影响材料发光性能最主要的工艺因素是放电气体的压力,其次是加热时间和微波功率的升降速率,而微波功率的影响较小.材料的发光性能随气体压力的增加,表现出先增强后减弱的变化趋势;同时随升降功率速率的减慢和保温时间的增加而逐渐提高.XRD及SEM分析表明在最优化的工艺条件下制备的产物为单斜晶系的SrAl2O4,粒径尺寸在5～15μm之间,晶粒发育较好,基质结晶完整;光谱分析显示材料的激发光谱和发射光谱都为宽带谱.主峰分别位于326nm和520nm处;余辉性能测试表明材料的1h余辉亮度可达24.36mcd/m2,材料发光性能优良.
关键词:
长余辉发光材料
,
微波等离子体
,
SrAl2O4:Eu2+
,
Dy3+
张玮
,
满卫东
,
林晓棋
,
游志恒
,
吕继磊
,
江南
硬质合金
doi:10.3969/j.issn.1003-7292.2013.12.007
本文利用5 kW微波等离子体装置,在直径22 mm的石英上沉积金刚石薄膜.实验研究了衬底在不同位置对沉积金刚石薄膜的质量产生的影响.实验中将2块石英衬底编号为A和B,样品A被放在偏离钼基片台中心5 mm的位置,使石英的中间区域偏离等离子体球,而边缘区域处于等离子体球的下方.通过SEM和拉曼光谱表征所沉积的金刚石膜,对比样品A的中间和边缘区域发现中间的区域金刚石膜的质量差且不均匀,边缘区域则长出取向一致的(100)面金刚石.通过分析认为,较高的温度、大的等离子体密、合适的碳源浓度度等条件有利于(100)面金刚石薄膜的沉积.随后改进工艺,将样品B放在基片台中心使其处于等离子体的正下方,并调整生长温度和甲烷浓度,成功的获得了高质量均匀的(100)面金刚石薄膜.
关键词:
微波等离子体
,
衬底位置
,
沉积
,
薄膜
王兵
,
王延平
,
熊鹰
,
周亮
,
叶勤燕
功能材料
以CH4和CO2作生长金刚石薄膜的反应气体，以Ar作载气将三聚氰胺甲醇饱和溶液带入沉积室内作氮掺杂源，用微波等离子体化学气相沉积法在单晶硅衬底上制备出掺氮纳米金刚石薄膜。通过拉曼光谱、原子力显微镜、霍尔效应研究了掺氮纳米金刚石薄膜的组成、结构和导电性能，重点研究了微波输入功率对薄膜特性的影响。结果表明，制备的掺氮纳米金刚石薄膜具有良好的电子导电性，且随着激发等离子体微波功率的增大，其晶粒尺寸、晶界宽度、表面粗糙度和电导率增大，在最佳微波功率条件下制备出电子电导率高、材料质量好的纳米金刚石薄膜。
关键词:
微波等离子体
,
纳米金刚石薄膜
,
掺杂
,
电导盔
柴欣
,
李力
,
梅炳初
,
董学斌
,
朱建勇
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.10.010
在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上,采用微波等离子体化学气相沉积法,在微波功率2 kW,压强4.0 kPa和6.5 kPa,CH-4和H-2流量分别为1.6 cm/s和100.0 cm/s的条件下生长金刚石薄膜.利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在,用拉曼光谱分析了薄膜的质量,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力.实验结果表明,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大,最主要的因素是钴含量的多少.
关键词:
金刚石薄膜
,
粘结力
,
硬质合金YG8
,
微波等离子体
,
洛氏硬度压痕
万军
,
马志斌
,
曹宏
,
吴振辉
,
汪建华
新型炭材料
在微波等离子体化学气相沉积系统中,利用脉冲氮离子束溅射二氰二氨靶产生的碳氮粒子作为合成前驱物,在石英玻璃基片上研究了SiCN晶体的合成.用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDX)、X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)研究了基片温度对薄膜的形貌、成分和结构的影响.结果表明:随着基片温度的降低,沉积物由截面为六方形的结晶良好的SiCN晶体(800℃)变成发育不完全的聚片状晶体(700℃),直到变成颗粒细小的无定形碳氮薄膜(550℃).衍射峰的强度以及晶胞参数a和c的值随温度的降低而减小.薄膜为C原子部分取代Si_3N_4中的Si原子位置而形成的SiCN晶体,其中N原子主要与Si原子结合,C原子以sp~3C-N、sp~2C=N和sp~2C=C键的形式存在.降低基片温度有利于提高薄膜中的C含量和sp~3C-N键的含量.
关键词:
SiCN晶体
,
微波等离子体
,
溅射
,
二氰二氨
陈金民
,
黄志良
,
刘羽
,
王升高
功能材料
选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,采用微波等离子体增强法,在低温条件下,成功制备了氮杂二氧化钒薄膜.通过X射线衍射(XRD),FT-IR对样品进行表征,结果表明:合成的样品为多晶氮杂二氧化钒.相变温度测试结果表明:退火工艺可以降低相变温度,同时提高薄膜的结晶度;改变氮气流量,相变温度先降低后升高,当氮气流量为20ml/min时,相变温度可以降低至40℃.
关键词:
微波等离子体
,
VO2
,
氮杂二氧化钒
,
相变温度
