邱成军
,
刘红梅
,
张辉军
,
赵全亮
,
孟丽娜
,
曹茂盛
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2007.08.006
采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求.
关键词:
PZT薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
各向异性刻蚀
,
微驱动器
,
MEMS
袁振宇
,
徐东
,
刘毓舒
,
蔡炳初
稀有金属材料与工程
研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺.结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高.
关键词:
NiTi形状记忆合金薄膜
,
原位加热
,
织构
,
微驱动器
程秀兰
,
蔡炳初
,
徐东
,
王莉
功能材料
形状记忆合金(SMA)薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能,而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力.本文主要介绍了以TiNi基合金为主的形状记忆合金薄膜在微驱动器和微传感器上的国内外应用性研究现状,并展望了其未来的发展趋势.
关键词:
形状记忆合金
,
形状记忆效应
,
超弹性
,
微机电系统
,
微驱动器
,
微传感器
周雪丽
,
李世中
功能材料与器件学报
介绍了一种基于光致形变聚合物材料的MEMS开关微驱动器.光致形变聚合物材料在光驱动型微执行器上的应用具有体积小、结构简单、易实现遥控等特点.根据MEMS的尺寸及性能要求建立开关及微驱动器模型,并得到所需最大驱动力.通过计算得出具有一定尺寸光致形变薄膜的等效弯曲行为,并将其应用到MEMS开关微驱动器上.运用ANSYS对微驱动器及闭锁机构仿真分析,根据仿真结果对结构进行改进,确定了采用多层薄板结构的方案,以满足最大驱动力要求.
关键词:
光致形变聚合物
,
MEMS
,
开关
,
等效弯曲
,
微驱动器
,
ANSYS
宁智华
,
王治国
,
傅永庆
,
祖小涛
材料导报
TiNi基形状记忆合金薄膜除具有和体材料相同的形状记忆特性外,还因表面积大、散热能力好,改善了体材料响应速度较慢的缺点,在微电子机械系统领域是一种具有广阔应用前景的材料.综述了近年来TiNi基形状记忆合金薄膜研究现状,并对其应用进行了评述.
关键词:
TiNi基形状记忆合金
,
薄膜
,
制备
,
微驱动器
