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硅单晶材料发展动态

邓志杰

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.05.013

概述了现代特大规模集成电路对硅单晶片的质量要求、直拉硅单晶生长工艺及晶片加工技术研究进展和硅单晶材料市场现状及发展趋势.

关键词: 直拉单晶 , 缺陷 , 完美硅 , 快速拉制 , 晶片加工