王海燕
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卢景霄
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吴芳
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王子健
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张宇翔
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靳瑞敏
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张丽伟
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.034
本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅,通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究,定性地分析了氧在多孔硅层中的作用及主要热行为.分析了多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题:多孔层微孔尺寸、太阳电池工艺中各热处理过程的温度和时间、多孔层与电极材料是否形成欧姆接触及快速热氧化(RTO)的钝化效果.
关键词:
氧钝化
,
快速热处理(RTP)
,
快速热氧化(RTO)
,
减反膜
陈涛
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席珍强
,
杨德仁
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阙端麟
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.01.002
通过傅立叶红外吸收光谱分析了不同温度和时间下在硅衬底上快速热氧化(RTO)处理后的样品.结果表明,在处理相同的时间下,随着热处理温度的升高,二氧化硅薄膜的非对称伸展振动模式峰强度增强,其峰位发生了偏移.在800℃下制备二氧化硅薄膜的热氧化动力学规律不同于1200℃下的情况.在800℃下,快速热氧化制备的薄膜中含有非化学计量比的氧化硅(SiOx),SiOxDE再氧化使得薄膜的氧化生长速率不断增加,同时也是导致红外吸收光谱中ASM峰位向长波数方向偏移.在1200℃下,快速热氧化制备的薄膜成份是二氧化硅,这种薄膜具有良好的介电性能.
关键词:
快速热氧化(RTO)
,
二氧化硅薄膜
,
傅立叶红外吸收光谱
