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薄膜体声波谐振器的研究进展

谢和平 , 张树人 , 杨成韬 , 张洪伟 , 叶井红

材料导报

薄膜体声波滤波器作为一种发展高频滤波器的全新解决方案,比声表面波滤波器(SAWF)、陶瓷介质滤波器具有更高的Q值,低的损耗和在高频时具备更高的功率承受能力.介绍了薄膜体声波谐振器的研究历史和研究概况,薄膜体声波谐振器的原理和3种典型结构,具体阐述了薄膜体声波谐振器的关键技术及其材料体系的要求.

关键词: 微电子机械系统 , 薄膜体声波谐振器 , SMR结构 , 悬空结构