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冯宗财 , 李琳 , 郭祀远 , 王跃川 , 赵凌 , 陈毅敏
功能材料
研究了高支化碱溶性感光聚合物的碱溶性、感光性及其光致抗蚀剂的成像显影性能.研究发现高支化碱溶性感光聚合物酸值越大,图像越清晰,显影时间越短,并具有更良好的图像断面;平行光曝光图像清晰度和断面情况均比点光源好;在合适的成像显影条件下,经UV白光接触曝光高支化感光聚合物抗蚀剂图像分辨率可达到约1μm.
关键词: 高支化 , 感光聚酯 , 光致抗蚀剂 , 光成像
