李世泽
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魏正英
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杜军
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唐一平
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楚华丽
高分子材料科学与工程
为了提高纳米压印的成型质量,采用粗粒化分子动力学方法,研究纳米压印中抗蚀剂的变形行为.计算模型包括线宽结构的硅模具,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)聚合物薄膜以及硅基板.模型的x,y方向采用周期性边界条件,z方向采用非周期性边界条件.分析不同压印条件下,模具所需要的压印力及不同区域抗蚀剂密度的变化.结果表明,随着模具槽宽的增大,压印温度的上升,在下压过程中所需要的压印力逐渐减小;在脱模初始阶段,模具和抗蚀剂之间的相互作用力出现阶跃式的递减;下压阶段,抗蚀剂局部密度增加;脱模阶段,抗蚀剂出现回弹现象.
关键词:
纳米压印
,
粗粒化分子动力学
,
抗蚀剂变形行为
