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高电荷态ECR离子源的金属离子产生

曹云 , 马雷 , 孙良亭 , 张子民 , 赵红卫 , 马保华

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2004.01.006

简单介绍了采用炉子加热、挥发性金属化合物和溅射产生ECR离子源的金属离子的3种方法和实验结果, 主要研究了铜、锌、镍和铁等多种电荷态离子的产生. 对3种方法分别进行了探讨.

关键词: ECR离子源 , 加热炉 , 挥发性金属化合物法 , 高电荷态 , 溅射

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