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溶胶凝胶法混合掺杂SnO2薄膜的返回特性研究

朱惠宗 , 冯金垣

功能材料与器件学报

在常温、加温和光照三种环境下,通过采用溶胶凝胶法在玻璃基片上制备成的混合掺杂Cu_TiO2和Fe_TiO2的SnO2薄膜在乙醇、丙酮两种气氛作用下进行气敏反应前后的光反射谱测试,研究薄膜的返回特性.研究分析表明,掺杂SnO2薄膜在常温返回特性不理想,在100℃加温3分钟和红外线光照10分钟后,掺杂SnO2薄膜测试光反射谱表明返回特性表现良好,能在较短时间和较宽波段内返回.

关键词: 溶胶凝胶法 , 掺杂SnO2薄膜 , 返回特性