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ZnSe单晶薄膜生长控制和掺杂控制

王善忠 , 谢绳武 , 庞乾骏 , 郑杭 , 夏宇兴 , 姬荣斌 , 巫艳 , 杨建荣 , 于梅芳 , 杜美容 , 乔怡敏 , 郭世平 , 何力

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2000.02.007

为研制ZnSe基蓝绿色半导体激光器,必须能够对组成激光器的各单元材料实现精确控制生长,包括材料的晶体质量、掺杂浓度和生长速度等。ZnSe是制备蓝绿激光器的基础材料,本文报道利用MBE技术对ZnSe 材料进行生长控制和掺杂控制的初步研究结果。

关键词: ZnSe , MBE , 生长控制 , 掺杂控制

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